在當(dāng)前芯片緊缺的情況下,芯片車間對(duì)潔凈度有什么要求
近十多年來科學(xué)技術(shù)日新月異,對(duì)于新產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,同時(shí)對(duì)無塵凈化技術(shù)的設(shè)計(jì)和發(fā)展提出了更高的要求。萬級(jí)無塵車間在半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等行業(yè)非常多見。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù),只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn),做到設(shè)計(jì)合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,提高生產(chǎn)效率。
電子制造業(yè)萬級(jí)無塵車間的潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對(duì)靜電要求嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)【推薦使用溫濕度變送器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈環(huán)境的溫濕度】,這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1、萬級(jí)電子無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次;100≥500次;
2、壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;
3、平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;
4、溫度:冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃;
5、濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
6、噪聲:≤65dB(A);
7、照度:300LX;
8、新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%。
萬級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級(jí)的凈化車間,主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實(shí)現(xiàn)。
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